半导体行业 半导体行业 更新时间 2020-10-13 08:57 阅读 适用于半导体器件制造中的批量晶圆工艺。其独特设计的工艺腔室及加热系统为各种常压工艺和低压LPCVD工艺提供最大限度的灵活性,工艺温度可高达1100°C。 上一篇:没有了 下一篇:没有了